Bei der rasterelektronenmikroskopischen Untersuchung (REM) kann die Oberfläche einer Probe stark vergrößert werden. Dabei tastet ein feingebündelter Elektronenstrahl die Oberfläche ab („Rastern“). Dabei werden die Wechselwirkungen der Elektronen mit dem Objekt zur Erzeugung eines Bildes genutzt. Die energiedispersive Röntgenmikroanalyse (EDX – Energy dispersive X-ray spectroscopy) ist eine Form der Elementanalyse, indem charakteristische Röntgenstrahlung der enthaltenen Elemente detektiert wird.
