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Rasterelektronenmikroskopie (REM)/energiedispersive Röntgen-Mikroanalyse (EDX)

Bei der rasterelektronenmikroskopischen Untersuchung (REM) kann die Oberfläche einer Probe stark vergrößert werden. Dabei tastet ein feingebündelter Elektronenstrahl in einem bestimmten Muster die Oberfläche ab. Diesen Vorgang nennt man „Rastern“. Während der Rasterung werden die Wechselwirkungen der Elektronen mit dem Objekt zur Erzeugung eines Bildes genutzt. Diese erzeugten Bilder sind Abbildungen der Objektoberfläche. Die energiedispersive Röntgenmikroanalyse (EDX – Energy dispersive X-ray spectroscopy) ist eine Form der Elektronenmikroskopie, mit der die chemische Zusammensetzung einer Probe untersucht wird.

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