Bei diesem Verfahren wird ein Teil der Probe abgetrennt und in einem Kunstharz eingebettet. Durch definierte Schleif- und Polierschritte wird ein Querschliff des zu analysierenden Bereichs angefertigt und unter dem Lichtmikroskop bei geeigneter Vergrößerung betrachtet. Neben der reinen Bildgebung ist auch eine Dickenmessung einzelner Schichten sowie Kantenverläufe von Beschichtungen möglich. Über geeignete Ätzverfahren kann auch eine Gefügeanalyse von Metallen und Legierungen ermöglicht werden.
Es besteht auch die Möglichkeit kleine Probenteile direkt zu betrachten und dreidimensionale topographische Aufnahmen mit bis zu 6000-facher Vergrößerung anzufertigen.
